Características
Carga e descarga totalmente automáticas.Configuração padrão
A célula é inserida no invólucro usando a cooperação de manipuladores de quatro eixos e seis eixos, entrada flexível no invólucro e efeito de montagem estável.
 
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     Parâmetros básicos  | 
   
     valor do parâmetro  | 
  
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     Tamanho do equipamento  | 
   
     
     
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     Capacidade de máquina única  | 
   
     6-24PPM  | 
  
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     taxa de falha DT  | 
   
     ≤ 2,0%  | 
  
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     vantagem única  | 
   
     > 99,9%  | 
  
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     tempo médio entre falhas  | 
   
     > 8h ( Mais de 30min significa tempo de inatividade )  | 
  
Diagrama esquemático do processo de revestimento de filme de alta velocidade de 24 ppm
 
  
  
 
   
 
 
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